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ICP炬管是由三支同心石英管組成的，也都有三個進氣管，分別進三股氣流：冷卻氣、輔助氣及載氣。冷卻氣又稱為等離子氣。載氣又稱為進樣氣或霧化氣，它把試液霧化并把氣溶膠送入ICP光源。理想的ICP應(yīng)該易點燃，節(jié)省工作氣體及炬焰穩(wěn)定。通用的ICP不足之處是耗氣量，如果降低冷卻氣流量又容易燒毀。只有保持高頻輸入功率和等離子體消耗能量之間平衡，ICP炬焰才能穩(wěn)定。

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