ICP(InductiveCoupledPlasmaEmissionSpectrometer)電感耦合等離子光譜發(fā)生儀，電感耦合等離子體(ICP)是目前用于原子發(fā)射光譜的主要光源。ICP具有環(huán)形結(jié)構(gòu)、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發(fā)光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學(xué)干擾少、準(zhǔn)確度和精密度高等分析性能。

　　icp光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，icp光譜法是根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。icp光譜儀主要應(yīng)用于無機元素的定性及定量分析。

　　icp光譜儀主要用于微量元素的分析，可分析的元素為多數(shù)的金屬和硅、磷、硫等少量的非金屬，共72種。廣泛地應(yīng)用于質(zhì)量控制的元素分析，超微量元素的檢測，尤其是在環(huán)保領(lǐng)域的水質(zhì)監(jiān)測。

　　ICP還可以作為原子化器，如以空心陰極燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統(tǒng).ICP作為原子化器的優(yōu)點在于原子化器具有很高的溫度，多種元素都可得到很好地原子化，散射問題也得到克服.由計算機控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產(chǎn)生的熒光由相應(yīng)的光電倍增管檢測，光電轉(zhuǎn)換后的電信號在放后由計算機處理，并報出各元素的分析結(jié)果.不過，值得提出的是，以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高.