ICP單道掃描光譜儀從光源發(fā)出的光穿過入射狹縫后，反射到一個可以轉(zhuǎn)動的光柵上，該光柵將光色散后，經(jīng)反射使某一條特定波長的光通過出射狹縫投射到光電倍增管上進(jìn)行檢測。光柵轉(zhuǎn)動至某一固定角度時只允許一條特定波長的光線通過該出射狹縫，隨光柵角度的變化，譜線從該狹縫中依次通過并進(jìn)入檢測器檢測，完成一次全譜掃描;和多道光譜儀相比，單道掃描光譜儀波長選擇更為靈活方便，分析樣品的范圍更廣，適用于較寬的波長范圍。但由于完成一次掃描需要一定時間，因此分析速度受到一定限制。