臺式ICP光譜儀對元素周期表上氟（F）及其以后的元素給出準(zhǔn)確、精密和可靠的結(jié)果，它們的性能可以與體積更、功能更強(qiáng)的光譜儀相媲美，有些情況下甚至可以超越它們。通過在激發(fā)和探測技術(shù)上的革新后，在對輕元素的分析功能方面表現(xiàn)更優(yōu)，成為一種經(jīng)濟(jì)的，高度靈敏度的元素分析工具。巧的體積，簡單的安裝及電源要求使其成為現(xiàn)場及野外便攜觀測的有力工具。

 臺式ICP光譜儀是確定物質(zhì)中元素的種類和含量的一種方法，它利用原級X射線光子或其它微觀粒子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生次級的特征X射線（X光熒光）而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)態(tài)研究。X射線熒光光譜儀由以下幾部分組成：X射線發(fā)生器（X射線管、高壓電源及穩(wěn)定穩(wěn)流裝置）、分光檢測系統(tǒng)（分析晶體、準(zhǔn)直器與檢測器）、記數(shù)記錄系統(tǒng)（脈沖輻射分析器、定標(biāo)計(jì)、計(jì)時器、積分器、記錄器）。不同元素具有波長不同的特征X射線譜，而各譜線的熒光強(qiáng)度又與元素的濃度呈一定關(guān)系，測定待測元素特征X射線譜線的波長和強(qiáng)度就可以進(jìn)行定性和定量分析。它具有譜線簡單、分析速度快、測量元素多、能進(jìn)行多元素同時分析等眾多優(yōu)點(diǎn).特點(diǎn)多,功能強(qiáng).